利用電子透鏡聚焦的電子束代替光束，放大物體影像的裝置。電子束的波長比普遍光短數千倍，波長越短，分辨能力越大，故電子顯微鏡的解像力及放大倍率皆高，能觀察物質極細微的結構形態。已用於研究病毒、蛋白分子和金屬表面。