微米，一公分的一萬分之一。次微米，比一萬分之一公分更窄的距離。次微米元件指具有特定功能的積體電路，積體電路的金屬連線愈窄，容納電晶體愈多，如果金屬連線比微米還精細，稱為「次微米元件」。